美国Trion Technology 反应式离子刻蚀(RIE/ICP)系统及沉积(PECVD)系统 Trion始于一九八九年的等离子刻蚀与沉积系统制造商,Trion为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种设备。我们的产品在业内以系统占地面积较小、成本低而着称,且设备及工艺的可靠性和稳定性久经考验。从整套的批量生产用设备,到简单的实验室研发用系统,尽在Trion。 批量生产用设备-去胶系统Gemini 和Apollo : - 低损伤去胶系统 新式去胶系统的成本已攀升到不合理水平,但Trion已通过两套价格低廉、紧凑的多功能系统使这一关键问题得到解决:Gemini和Apollo。利用ICP(电感耦合等离子)、微波和射频偏置功率,可以在低温条件下将难于消除的光刻胶去除。根据应用要求,每套系统可以结合SST-Lightning 微波源(既可靠又没有任何常见的微波调谐问题) 或ICP 技术。 ? 刻蚀速率高达6微米/分 ? 高产量 ? 等离子损伤低 ? 自动匹配单元 ? 适用于100mm 到300mm 基片 ? 设备占地面积小 ? 价格具竞争性